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传统的光刻技术和自动装配成形技术的融合 |
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传统的光刻技术和自动装配成形技术的融合 纳米世界一个巨大的挑战是原子与原子之间的精确的定位。历史上对于这种挑战有两种方法:由上而下的光刻技术和由下而上的自组装技术。光刻技术在集成电路的发展过程中已经取得了巨大的进步。正如上面所讨论的, 目前的光刻技术的局限性在100nm的范围内。新技术将发展到将这个尺寸缩小一个数量级,但是仍然跟典型的分子内部原子间距0.5nm有很大的差距。 从另一方向说,使用自组装技术,化学家按常规根据原子间的精确距离制造分子。晶体是大范围顺序的精确的自组装的一个很好的例子。在一个直径300mm的硅晶片上,如果你知道一个单个上海金相镶嵌机的位置和方位,那么你便知道在温度、压力、混合物、热运动引起的变化范围内的晶片另一面或另一端的原子的精确位置。***近的研究可能为分子的自组装技术提供纳米尺寸上的横向空间。作为一个总的原则——虽然不是不能侵犯,这些努力已经导致了一个非常好的定位秩序(如***近的邻居)和相对大范围的秩序(宏观上)。提供多晶合点是固有技术,例如在一个平坦的、非晶粒的表面上。多晶域如过程中的热力学所规定的那样形成核,单个晶粒增长和结合的结果形成晶界。 一个现行的研究方向是融合这两种技术并且使用每项技术发挥***大的优势。自上而下光刻技术能提供一个从厘米向下的大范围尺寸,现在能够缩小到大约100nm的特征尺寸。分子自组装在10nm尺寸以下能很好的工作。这些方式联系紧密以致它们能够合并在一起,并且提供了完全控制从宏观到原子的可能性。纳米技术将可能需要通过这些来控制所有空间尺寸。
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