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| 非常精细表面粗糙度测量用光学金相试样磨抛机的类型 |
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非常精细表面粗糙度测量用光学金相试样磨抛机的类型 当使用光学方法时，局部散射和总体反射的区别也需考虑，而任何非传统的粗糙度测量方法应该以参数给出测量结果，该参数要符合公认的ISO 粗糙度术语，一个光学和数字方法的联合装置已被研制出来，用非接触的光学数字方法给出的结果是令人满意的、全面的，而且符合ISO 术语，因而非常精细表面粗糙度的实际比对成为可能。 在实际的干涉金相试样磨抛机内，有关被研究表面的干涉图样的很多复杂信息没被利用。如果被研究表面的结构沿其表面接近于常数，那么，其干涉条纹通常可以被理解为是高度曲线。 改进这种目视检查窄小条纹的方法，通常是寻求：（a ），使用具有陡的密度曲线的照相材料，（b ），使用多光束干涉法，或者（c ）。借助于一种为等密度法的照相技术，在各种情况下，较高精度所换来的只是在表面的主要部位的较少的信息。 这些缺点与不能使用干涉图样的全部信息紧密相关，从而导致我们进行了下面介绍的初步实验，在这个实验里，然而这一点却避免了去确定密度曲线的必要性，因为被利用的仅仅是一个灰色值。通常，当表面上的粗糙度参数的散布是相当大时，这种方法的分辨率大约在1%左右已足够，空间分辨率被金相试样磨抛机物镜的孔径所限制，约为1 μm ，这两者都受到照片象的粒度的不利影响，但在这里这种影响是微不足道的。
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