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探针金相试样抛光机在表面物理特征的基本研究的应用 |
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探针金相试样抛光机在表面物理特征的基本研究的应用探针测量方式 过去的十年,对表面物理特征的基本研究上升到一个新的分析器级别,扫描探针金相试样抛光机。这种装置描述测量表面,在侧面范围是从150 μm 150μm,到低于原子分辨率,依据与微小技术变化相似的原理。扫描探针金相试样抛光机的原理。 这个级别的其他分析仪器是磁力金相试样抛光机、光学近场金相试样抛光机和用导热式电容接触面或用离子流工作的金相试样抛光机。 然而,扫描探针金相试样抛光机不仅仅用高空间分辨率测量表面特征。扫描通道尖顶,扫描力和横向力金相试样抛光机也用于局部传感器和作为极小的工具进行试验或在微小刻度尺上修正表面。用这种方法,时间表、微小刻度尺结构能够形成,还可以修改并且在环境条件下被移动。通过原子力金相试样抛光机顶端,能产生局部的化学反应,结晶的生长,都能在位和即时被监视。力和干涉在附属的原子刻度尺上被研究,摩擦,能量消耗的现象在金相试样抛光机刻度尺做定量的研究。扫描电子金相试样抛光机 在许多科研领域,在亚微计的范围内获得化学上的、形态学上的信息是很重要的。因为光学金相试样抛光机分辨率的限制(理论上是0.15微米),被高电压(一直到3MV)加速的捆绑电子,在高真空中取代了光进行应用,因为大气压力下通过散射,它们会产生强烈的偏转。旋转对称的电磁场起到了与光学金相试样抛光机透镜相同的作用,聚集从热阴极来的电子束并打在物体上。依据在电子成像描绘的结构中强度的分布,在传输电子金相试样抛光机中电子束以不同的程度穿透被测物体。在摄像平面或荧光屏上可获得电子成像,产生大概200000倍的放大。在扫描电子金相试样抛光机中,一电子束(直径大约lOnm)在扫描图案内的物体上移动,例如,一行一行的。这些散射回来的电子和从样品表面逃逸的次级电子,都被闪烁体和全自动精密倍增器放大,并提供被同步控制的阴极射线管的亮度控制信号(大的场深)。
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