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形状和表面粗糙度测量仪-光学轮廓仪的应用简介 |
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形状和表面粗糙度测量仪-光学轮廓仪的应用简介 超精密形状和表面粗糙度测量仪的开发在超精密加工工件表面粗糙度的测量分析中。高分辨率的表面测量是必不可少的,对于高分辨率的表面形状测量仪器,测量时触针的振动范围是一个非常重要的参数。如果触针振动量越大,就更难以保证高的分辨率。 测量仪和测量的设定误差在进行产品的加工过程中。由加工设备产生的误差是不能完全避免的。因此,在进行高精度的测量时,正确掌握测量误差的产生来源是非常重要的,只有这样才能得到真正的测量值,如前面所述的触针前端形状误差等。 测量结果的利用精密测量结果对超精密加工具有非常重要的意义。以非球面镜片模具的呻吟工为例,其加工过程在整个加工过程中,对非球面模具的测量是非常重要的一项工作。从整个加工流程来看,非球面模具的面形精度势必奖影响***后的产品精度。 前次测量的结果需要下次测量中考虑。 光学轮廓仪光学聚集传感器一大类称为光学轮廓仪的设备取代了使用机械探针的接触式轮廓测量仪。这种设备利用光学聚集传感器来实现轮廓测量。
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