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新技术的近场光学金相试样抛光机分辨率达到20nm左右 |
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新技术的近场光学金相试样抛光机分辨率达到20nm左右 传统的光学金相试样抛光机利用扩展光把物体各点的形貌同时显示出来;近场光学金相试样抛光机与其他扫描探针金相试样抛光机一样,应用网格状逐点扫描技术获得物体的形貌像。在扫描时,探针与样品表面的距离恒定保持在几十纳米以内的近场尺度,这种技术在原子力金相试样抛光机和扫描隧道金相试样抛光机中已经很成熟了。***后通过小孔探测器得到高分辨物体的形貌像。计算机把从各点收集到的信号处理,勾画出样品的图像。 这种用小球、小孔作为探针获取近场信息的工作模式称为“收集模”而用直径小于波长的局域光源近场照明被观察的物体,用传统的全自动精密金相切割机方法在远场处收集信息的方法称为“照明模”。 近场光学金相试样抛光机分辨率达到20nm左右,大都用光纤探针,由多模或单模光纤制成。光纤经加热拉伸断裂,形成有平坦面的针尖,蒸镀金属薄膜,蒸镀金属时在端面留有小孔。
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