一般光学金相试样抛光机之放大倍率至1000左右 一般光学金相试样抛光机之放大倍率至1000左右已是极限,电子金相试样抛光机之电子束波长为 可见光之10-4 ~ 10-5倍,故放大倍率可达百万倍以上。 由于光波可使用指数型式的数学式来表示,因此光的某些行为很适合用傅利叶转 换来作,在此我们介绍傅氏光学(Fourier optics)的一些概念,在许多求小孔绕射 图案的场合 由于傅氏光学与绕射图案相互之关系,我们可以利用来作影像处理,上式其中f 是所谓的空间频率,一道接近平行的光束,它的空间频率很低,甚至是零。至于光 束中的杂讯及构成影像边缘部分的光束,通常它的空间频率较高。简单的傅氏光 学与绕射图案运用即是空间滤波器的原理,雷射光经透镜后先是聚焦于焦点上, 而后扩束放大,我们再透镜的焦点上放置一个针孔,空间频率很低的光束通过,档 掉光束中空间频率较高的部分,即可达到滤波的效果 影像的鑑别率:当两个距离相近的点光源S1及S2,各发出光而经过同一个小孔,分 别在屏风成像于P1及P2,由于绕射的关系P1及P2将为两个绕射图样的小点,当小孔 的孔径越小或S1及S2越接近时, P1及P2两个小点也就越大,而产生叠合的现象,这 时我们称这个小孔所产生的影像,不能再辨别出S1及S2两点,当鑑别率为d时,即能 鑑别两个距离为d的点光源所形成的绕射图样。 通常我们以角度来表示鑑别率大小,设光学器具如透镜、光栏之直径为D,由圆孔 绕射公式可得: θm 为***小鑑别角度(minimum angle of resolution)由此可知当λ越小,越易分 辨,