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接触式或非接触式测量工具金相试样镶嵌机的技术应用 |
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接触式或非接触式测量工具金相试样镶嵌机的技术应用 其测量比接触式方式更加困难。接触式方式的力要比非接触式的力大几个数量级。另外,用于非接触式原子力金相试样镶嵌机的悬臂比接触式原子力金相试样镶嵌机的悬臂较硬(典型的是21~lOON/m)。因为软的悬臂易与样品接触。在非接触式方式中小的力值和用于非接触式原子力金相试样镶嵌机的悬臂的大的硬度,是造成非接触式原子力金相试样镶嵌机信号小的两个因素,因此测量较困难。故用一灵敏的交流感测装置于非接触式原子力金相试样镶嵌机的操作。在非接触模式中,系统以靠近硬的悬臂的共振频率(100~400kHz),振动悬臂,振幅为几十埃。当探针接近样品表面时,它能探测到共振频率和振幅的变化。这种灵敏检测装置提供了在图像中低于埃的垂直的分辨率,就像接触式原子力金相试样镶嵌机。 悬臂共振频率的变化可作为力梯度变化的测量,其能反映探针顶端与样品间距离的变化,或样品外形的变化。在非接触式原子力金相试样镶嵌机模式中,系统监视悬臂的共振频率或振动振幅,通过上下移动扫描仪,以及经过其反馈系统的辅助使之保持一常数。通过使共振频率或振幅保持一常数,系统探针到样品的平均距离也保持一常数。像接触式原子力金相试样镶嵌机(定力模式),扫描仪的运动用于产生数据组。非接触式原子力金相试样镶嵌机不受探针或样品下降的影响,这些影响有时用接触式原子力金相试样镶嵌机进行无数次扫描之后可以被观察到。在刚性的样品中,接触式或非接触式图像看上去是相同的。然而如果几个单层浓缩水放在刚性样品的表面时,图像看上去完全不同。在接触式模式中原子力金相试样镶嵌机的操作将穿过液体层在测量表面下面成像。然而在非接触式原子力金相试样镶嵌机中在液体层的表面成像,对于样品调制很低时表面可能被原子力金相试样镶嵌机的探针划伤。另一种可利用的原子力全自动精密金相切割机模型是间断接触式。
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