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| 微纳几何量指微纳器件结构的几何尺寸-全自动精密金相试样镶嵌机应用 |
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微纳几何量指微纳器件结构的几何尺寸-全自动精密金相试样镶嵌机应用 微纳几何量是指微纳器件结构的几何尺寸，如微梁结构的长、宽、厚度，微结构台阶的高度等特征几何尺寸。微纳几何量测试就是针对微纳器件的几何尺寸和几何形貌的精密测试。常见的微纳几何量测试技术主要有全自动精密金相切割机视觉测试技术、接触式三维形貌测试技术、非接触式三维形貌测试技术、微纳三坐标测试技术以及薄膜厚度测试技术等。 图像微纳结构完整性检测与分析主窗口和检测结果。通过这种方法可以实现微纳几何图形的完整性检测与分析，从而实现微纳制造过程中加工工艺与器件结构的在线快速检查。微纳平面动态特性测***面板电容式MEMS加速度计进行平面振动测量，驱动信号为电压幅度1.5V，偏置电压1V的正弦波，经20倍增益的高压运算放大器放大后加载到谐振器上(实际驱动电压峰峰值为30V，偏置电压为20V),频率扫描的起始频率为0Hz，截至频率为200Hz，频率扫描间隔为1 Hz，采用运动模糊图像检侧技术，结合频率扫描方法，得到不同驱动频率下MEMS加速度计平面振动的幅频特性曲线。
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